FMA3100系列質(zhì)量流量傳感器代表著質(zhì)量流量傳感器技術(shù)領(lǐng)域的突破。先進的電子器件、緊湊的機械設(shè)計以及批量生產(chǎn)加工理念在這一高性能、低成本的產(chǎn)品中集中體現(xiàn)。氣體流量傳感器適合多種OEM應(yīng)用。0 ~ 5 Vdc線性輸出作為標準輸出信號。

FMA3200質(zhì)量流量控制器外形小巧，它利用基本的FMA3100熱式質(zhì)量流量傳感器提供精que、穩(wěn)定的氣體流量控制。在斷電模式下，流量控制閥關(guān)閉，同時泄漏率zui低。這種具成本效益的控制器是眾多OEM應(yīng)用的理想之選，它提供0 ~ 5 Vdc線性輸出并接收0 ~ 5 Vdc的控制輸入。

FMA3300在FMA3100流量計功能的基礎(chǔ)上增加了一個可調(diào)節(jié)3位半數(shù)字LCD數(shù)字顯示儀表，用于查看以工程單位（即mL/min或L/min）顯示的流量。已經(jīng)證實，這些緊湊型流量計在很多實驗室應(yīng)用中效果顯著。

規(guī)格:
輸出：0 ~ 5 Vdc（zui小值2500 ?）
輸入設(shè)定電壓（僅FMA3200）：0 ~ 5 Vdc
精度：滿量程的±1.5%*
重復(fù)性：滿量程的±0.5%
響應(yīng)時間：在滿量程的25 ~ 100%范圍大約2秒（常規(guī)）達到設(shè)定流速的±2%內(nèi)
工作環(huán)境：10 ~ 50°C (50 ~ 122°F)，無冷凝空氣
工作壓力范圍：25°C (77°F)時達到zui大值150 psi
溫度系數(shù)：每°C為±0.2%
壓力系數(shù)：每psi為±0.02%
泄漏完整性：對于外界環(huán)境，zui大值為1x10-4SCCS氦氣
輸入電源：

FMA3100和FMA3300：12 ~ 15 Vdc，100 mA (1.5 W)

FMA3200：12 ~ 15 Vdc，250 mA (3.75 W)

連接口：流速達到1 L/min時，采用?"壓合接頭；流速達到5 L/min時，采用?" 壓合接頭；流速達到10 L/min時，采用?"壓合接頭
接液材質(zhì)：陽極氧化鋁、氟橡膠O形圈、304和316不銹鋼、環(huán)氧樹脂、乙縮醛壓合管接頭（標配）
量程比：10:1
氣體：大部分潔凈、干燥氣體（例如，空氣、氮氣、二氧化碳、氬氣、氫氣、氦氣、甲烷、氧氣）
過濾：如果氣體中含有任何顆粒物質(zhì)，需要使用20微米過濾器
規(guī)格（FMA3200流量控制器）
壓差：15 ~ 40 psi
閥門工作壽命：>1百萬次循環(huán)；閥門處于常閉狀態(tài)
控制量程：50:1
遠程設(shè)定電壓：0 ~ 5 Vdc
重量：

FMA3100：199 g (0.44 lb)

FMA3300：249 g (0.55 lb)

FMA3200：386 g (0.85 lb)
不帶接頭的尺寸（近似值）：

FMA3100：47（長）x 26（寬）x 90 mm（高）(1.87 x 1.03 x 3.55")

FMA3300：47（長）x 26（寬）x 127 mm（高）(1.87 x 1.03 x 5.0")

FMA3200：81（長）x 26（寬）x 97 mm（高）(3.17 x 1.03 x 3.80")

* 一般規(guī)格下的標定精度在下列情況下有效：

1. 溫度范圍18 ~ 25°C (64 ~ 77°F)

2. 暖機時間：至少10分鐘

3. 穩(wěn)定的電源輸入電壓(12V ±0.1V)（常規(guī)）

4. 線性度：在zui高500 SCCM流量范圍內(nèi)時，增加±0.5%， 超過500 SCCM時，增加±1.0%

5. 精度范圍：10 ~ 100%

6. 對于FMA3100和FMA3300，管路壓力為1 ~ 30 psi，對于FMA3200，為廠家指定的設(shè)置

7. 使用（指定的）工廠用氣體

OMEGA流量計訂貨信息：

配備操作手冊和0.6 m (24")信號／電源電纜（僅與下面的電源兼容）。

如需4測量點NIST校準證書，請將后綴“-NISTAIR”添加到型號中（需付額外費用）。

訂購示例：FMA3307，帶顯示屏的0 ~ 2000 SCCM流量計和FMA3115PW，電源／輸出信號電纜。

按單生產(chǎn)

* 指定氣體、入口／出口壓力和溫度

** 流量范圍以干燥空氣或氮氣為基準；還提供其它氣體（二氧化碳、氦氣、氬氣、氫氣、甲烷、氧氣）的范圍（需付額外費用）。

如需可選4測量點NIST校準證書，請將后綴“-NISTAIR”添加到型號中（需付額外費用）。

訂購示例：FMA3203-（氦氣，20/0 psig，70°F），0 ~ 100 SCCM流量控制器和FMA3215PW，電源／輸出信號電纜。

配件：